规格参数
≥100W
扫描最大速度＞80 m/s
光斑大小：100μm-1.2mm，定制可调
182*182mm-230*230mm
≥100μm
230*230mm
匹配丝印工序产能，硅片尺寸：18X±0.5mm*（18X±0.5mm-210mm)，单台机产能≥4800片/小时，CT≤0.75s；硅片尺寸：210±0.5mm*21X±0.5mm，单台机产能≥4500片/小时，CT ≤0.75s
≧0.05%（不低于同行最优水平）
≦0.01%@18X±0.5*18X±0.5； ≦0.02%@230±0.5*230±0.5
≤2%RMS
±≤15um
一年≤5%，三年≤15%
≧98%
