4000ms(由产品决定)
±10μm@3σ(设备精度,实际产品精度需由来料决定)
±1°@3σ
20g-300g
0.15×0.15mm-15×15mm
厚度≥70um
Tape卷料、电子飞达供料
2000-4000 pcs/h(根据治具矩阵密集程度)
4inch Gel-PAK、Wafer-PAK(可定制)
12寸晶圆(向下兼容10寸、8寸)
±10°
500*350mm(可调节)
灰阶度256
1920pixel×2560pixel(可定制)
5M(1920×2560pixel) FOV(16mm;×1,×2,×4)
1600×1250×2000mm(长×宽×高)
2000kg