4inch、6inch、8inch、12inch（选制）
最大1000mm/s
wafer Frame
红外
<10W
10~200KHz
重复定位精度：±1μm ， X轴直线度：±1μm/300mm
430mm×550mm×30mm
±1μm
旋转角度：210° 旋转分辨率：15arc-sec
≤±5um（200mm范围）
角度、水平、基准点校正、CCD光源亮度自动调节
22℃±2℃
30～60%
千级或以上
0.5-0.8Mpa
单相220V，50Hz，20A以上
<5%
1500（W）mm×2100（L）mm×2180（H)mm
净重3.2吨
