2寸-6寸晶圆
约2刀/s
±3μm
X/Y行程 155*158mm
0.95
1000H
≥99.5%
角度75度，刀长165mm（6寸），直线度0.003μm
≤5μm
行程：158mm；直线度：±5 μm；重复定位精度：±1μm
行程：155mm；直线度：±5 μm；重复定位精度：±1μm
回转角度：120°；最小分辨率0.005°
行程：35mm；直线度：±5 μm；重复定位精度：±1 μm
