充油芯体传感器组装测试线
设备简介
充油芯体组装线包含:贴芯设备、胶水固化设备、等离子清洗设备、金丝键合设备、膜片焊接设备、真空注油设备、抽真空设备、电阻封焊设备、烘干设备、产品下料设备等。激光锡焊设备和打磨设备为单机台生产。生产过程数据记录,信息可追溯。
工艺流程
technological process
技术参数
technical parameter
全自动贴芯设备
效率

4PPM

XY放置精度

±0.02

芯片校正

±0.2

定位方式

CCD/机械定位

晶圆盘

6寸/8寸(根据产品定制)

陶瓷环

振动盘

基座

(根据产品定制)

全自动膜片焊接设备
效率

4PPM

XY放置精度

±0.02

焊接同心

±0.03

定位方式

CCD/机械定位

膜片

正反/叠料

压环

正反

基座

正反、有无

应用领域
application area